解决方案

输送应用

玻璃的非接触式处理对于平板显示器 (FPD) 和光伏 (PV) 太阳能电池板的制造工艺至关重要。这是由于任何时候玻璃接触加工或输送表面时都会发生降低产量的损坏。New Way 针对这一需求提供了一系列可扩展的模块化解决方案。通常,两条或更多条 New Way 产品线集成到一个玻璃输送、加工和/或检测阵列中。这些产品包括:精密区气浮栅;传送区气浮栅;和浮选区气浮栅。您将在下面找到有关这些应用程序的更多具体信息。

非接触式玻璃搬运的原则和好处

寻求提高产量的 FPD 制造商认识到,在玻璃处理过程中消除接触是关键步骤。New Way Porous Media Technology TM提供了一个理想的解决方案,因为气浮均匀分布在整个输送或“夹盘”表面,因此玻璃几乎不可能接触到。

从本质上讲,气流被迫通过模块化 New Way 产品的“轴承”表面上的数百万个亚微米大小的孔。该表面是一种专有的碳,它本身就是一个轴承表面。因此,即使发生灾难性的气压损失,损害也将降至最低……尤其是因为玻璃下方的气浮需要一段时间才能消散。结果是玻璃板被轻轻地放在表面上,等待重新施加气压。

即使在接触的情况下,碳在使用过程中也不会形成颗粒。经过分析,发现它对 ISO 10 级洁净室没有贡献。事实上,它几乎充当进入气浮的过滤器——与 HEPA 过滤器的作用方式非常相似——从而确保 New Way 气浮栅与洁净室环境兼容。

气浮膜的厚度很大程度上取决于应用要求,其中最重要的是玻璃尺寸的产生。但是,与传统观念相反,气浮膜越薄越硬。同样,玻璃的浮空高度取决于应用,但 New Way 建议绝对最小浮空高度为 10µm。这是因为玻璃本身可以有高达 5µm 的偏差,而 New Way 技术可以将该浮空高度保持在 ±5µm 以内。(在下面寻找具体的产品推荐。)

使用真空和气压可以实现这种控制水平。一旦达到适当的平衡,工程师就有可能“拨入”以前无法达到的精度水平。

New Way 提供一系列易于安装的模块化气浮栅,旨在满足从高速输送到低控制的各种要求。New Way 还提供精密气浮栅产品,专为在精密玻璃检测和优化加工站下方或附近使用而设计。与我们自己的传送区和浮选区气浮栅相比,它们提供了更高水平的精度、刚度和阻尼。

用NewWay传送区气浮栅进行输送

在世界各地的许多“晶圆工厂”中,压缩气流的可用性或压缩机容量限制了可用于该过程的消耗气浮量。在某些情况下,可能只有鼓风机可用。在其他情况下,例如在洁净室应用中,最好尽量减少流动和由此产生的可能影响过程的电流或涡流。New Way 传送区气浮栅专为解决此类应用而设计。

与基于孔板的气浮轴承不同,消耗品的测量单位是每小时升数,而不是每分钟升数。仅这一因素就显着降低了问题的可能性……许多数量级。

单独的传送区气浮栅组件根据应用的输送需要排列。有五种不同的尺寸可供选择,以使工程师的设计尽可能简单。

然后将 FPD 或太阳能模块玻璃片(直至第 10 代及以上)在由 New Way Porous Media 分布在阵列表面的薄气浮层上传送,完全没有接触。虽然它很薄,但这种气浮层创造了一个惊人的坚硬和稳定的支撑。

使用标称量的真空来防止玻璃板航行,同时提供一定程度的稳定性和控制。它还可以使玻璃变平,同时减少表面振动。由于整个片材在空间中被“固定”,在气压和真空力之间取得平衡,因此颤振和不稳定性被最小化。

玻璃浮空高度的可重复性和气浮栅阵列的高刚度,再加上玻璃的快速振动阻尼,使得扫描的分辨率比以前使用机械接触输送装置所能达到的分辨率更高。高运动控制分辨率也成为可能,因为在片材中几乎消除了静摩擦系数和移动摩擦系数,从而实现了玻璃取向的亚微米分辨率。这是平板玻璃加工和光学检测的理想选择。

最后,最高 100 米/秒的表面速度在理论上是可能的,尽管这对于大玻璃板是不可行的,因为玻璃板本身不能如此快速地加速,因此 2-3 米/秒的制造速度是很容易实现。不仅可以实现更快的速度,而且无需“航行”,而且额外的真空可以实现更严格的非接触式控制。这是因为真空设计产生了预加载刚度和“下压”力,在快速运动过程中抑制了板材从传送带上的提升。这种预加载力也会使玻璃变平,显着有助于玻璃表面的高对比度分析,这对平板显示器行业至关重要。

用NewWay浮选区气浮栅输送

对于控制要求不高的情况,New Way 开发了浮选区气浮栅。这种模块化组件既消除了碳面,也消除了作为公司传送区气浮棒的定义特征的一系列真空孔。这种更经济的产品可实现完全集成的方法来满足您的加工需求。

用 New Way Precision Zone 气浮栅进行加工或检测

New Way 针对 FPD 和 PV 太阳能模块制造过程中的“感兴趣的领域”开发了一种更加专业的产品。该公司的多孔介质精密区域气浮栅将更紧密的真空孔阵列与真空凹槽网格相结合,用于在加工或检查区域进行严格的浮空高度控制。

事实上,这种模块化产品的设计使得当玻璃上下移动时,真空压力和气隙保持不变,从而确保一致的玻璃高度和稳定性——从玻璃的前缘到后缘——允许对整个玻璃板的更大比例进行分析和检查。该系统在 25µm 的浮空高度上提供 ±5µm 的非接触式控制,在 FPD 玻璃检测相机和其他类似操作的 25-35µm 焦距范围内。

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