精密气浮栅

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精密气浮栅

如果您需要在检查过程中进行精确控制,请使用 New Way气浮轴承。我们的 Precision Zone 气浮栅系列将我们的Porous Media Technology™与更紧密的真空压力孔阵列相结合。这允许 25 微米的浮空高度和 5 微米的控制范围。我们的 Precision Zone 系列增加的刚度稳定在 1 纳米。这些气浮栅在整个表面上具有一致的平整度,非常适合在运输过程中检查小区域。

我们的气浮栅由柔软的碳基材制成,天然多孔,不会刮伤精致的材料。通过的气流由数百万个亚微米孔调节,以在气浮栅和您的材料之间形成稳定而坚硬的气垫。由于压力梯度已基本消除,因此生产永远不会因碰撞而中断。我们气浮栅的非接触特性意味着您永远不必担心您的材料会被传送带损坏。

我们的气浮栅最常用于平板显示器和太阳能电池板的制造过程。Precision Zone 气浮栅也可用于检查半导体晶圆或其他需要对不一致进行高级分析的特定区域。

Precision Zone 气浮栅可以轻松地与我们的其他气浮栅组合,以在材料的所需区域提供卓越的平整度和稳定性。当材料在气浮栅上下移动时,真空压力也减少了浮动。

符合洁净室标准

气浮栅中多孔介质的独特用途使其成为洁净室使用的理想选择。与基于孔板的气浮轴承相比,气浮栅中使用的空气不仅更少,而且气流通过多孔介质均匀分布。这两个功能都最大限度地减少了洁净室中电流或涡流的可能性及其对生产的破坏性影响。

使用多孔介质的另一个好处是它能够作为排放空气的亚微米过滤器。测试表明轴承满足 1 级(ISO 3 级)清洁度的要求,空气中的颗粒浓缩物限制小于 1,000 x 0.1μm 颗粒/m3。

了解更多关于我们的 Precision Zone 气浮栅如何集成到您的制造过程中?今天就告诉我们更多关于您的申请的信息吧!

应用

更紧密的真空孔阵列使此气浮栅系列成为薄材料精密检测的理想选择。此处列出的 Precision Zone 气浮栅还有其他应用。立即联系我们,以便我们了解有关您的特定应用的更多信息。
  • 检查
    真空孔排列更紧密,带有真空凹槽网格,可更好地控制 25 微米的浮空高度
    随着基板在气浮栅上移开和移开,真空压力和气隙保持不变
  • 输送
    刚性和稳定的气隙允许无接触传输,减少损坏基板的可能性
    真空压力使玻璃保持平整并防止抬起
  • 精密控制
    无润滑剂可保持洁净室清洁
    ±1 纳米的空气刚度稳定性和 ±5 微米的浮空高度控制,用于精确定位和运动

Precision Zone 系列气浮栅

Precision Zone Bars形如其名,是我们最高精度的浮空高度和控制范围,非常适合检查和分析特定的感兴趣区域。该设计确保整个产品的真空压力和气隙相同。这种卓越的稳定性能够对整个玻璃板的更大比例进行分析和检查。
单位:
英制
公制

对照表

尺寸 部分 # 输入压力 气膜刚度 长度 宽度 高度 重量
250mm S2225401 20 磅/平方英寸 1.31 磅/微英寸 9.84 英寸 3.0 英寸 1.97 英寸 3.08 磅/英寸

问题

我们有各种各样的气浮栅,可以满足任何输送应用。立即联系我们讨论您的选择

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