用于精密佳能仪器的强大改装轴承
New Way® 气浮轴承提供强大的改装服务,利用我们的多孔介质技术™ 来延长现有系统的使用寿命。使用 New Way 进行改造可提升机器性能,使其超出原始规格,并使机器在未来几年保持最佳状态。
佳能作为半导体制造用立体光刻步进机的行业领导者而脱颖而出。然而,虽然这些机器可以在纳米尺度上移动和制造,但它们的动态部件仍然容易受到磨损,即使是那些基于孔板轴承技术的机器也是如此。众所周知,佳能机器中的气浮轴承会随着时间的推移在舞台表面上积累划痕。随着这些划痕的数量和严重程度成倍增加,它们会演变成一系列影响机器性能的问题以及质量控制问题。几十年来,唯一的解决方案是直接从佳能购买全新或翻新的气浮轴承载物台。
现在,您可以选择与 New Way 和授权改造商合作,与佳能自己一起使用自清洁多孔介质气浮轴承对您的系统进行改造。我们的定制平面气浮轴承与 1995 年至 1999 年的佳能 FPA I4、IW 或 I5 型号兼容,与直接从佳能购买相比,可节省高达 80% 的成本。所有这一切都在提供 Porous Media 的巨大好处的同时,由 New Way 的内部专业知识和支持提供支持。New Way 将与您的企业和您选择的重建商合作进行现场改造,从而节省您的时间并避免因停机而导致的生产力损失。请随时联系,看看您的系统是否适合 Porous Media 升级!