H 系列使用更大的真空力,为客户提供对高加工速度至关重要的卓越压平能力。这些高速气浮条需要小于 50 微米的气隙,这增加了刚度以实现更好的控制。而且,与我们气浮条产品线中的所有产品一样,用于制造这些气浮条的软碳基板不会划伤其运输的玻璃表面。
New Way 的多孔介质技术™使用天然渗透有数百万个亚微米孔的多孔碳材料。气浮被迫通过这些通道以在气浮条表面提供均匀的气浮分布。这会产生更硬的气垫,允许较低的浮空高度,同时需要较低的输入压力。气流的均匀分布也消除了压力梯度,使停产事故成为过去。
要详细了解 Porous Media™ 气浮条如何保护您的产品,同时提高工艺的速度和效率,请下载我们关于使用 New Way 气浮条制造平板显示器的信息图。
点击查看完整的测试和分析报告(如右图所示) 我们的高速气浮条中多孔介质的独特使用使其成为洁净室使用的理想选择。与基于孔板的气浮轴承相比,不仅气浮条中使用的气浮更少,而且气浮通过多孔介质均匀分布。这两个功能都最大限度地减少了洁净室中电流或涡流的可能性以及它们对半导体晶片或平板显示器等产品生产的破坏性影响。
使用多孔介质的另一个好处是它能够作为排放气浮的亚微米过滤器。测试表明轴承满足1 级 (ISO 3) 清洁度的要求,气浮中的颗粒浓缩物限制小于 1,000 x 0.1μm 颗粒/m3。
New Way 的高速气浮条为平板显示器和太阳能模块制造工艺提供所需的精度,并用于各种行业。请参阅下面的比较表,以了解有关各种 New Way Air Bearing Air Bar 产品系列的规格的更多信息,并立即联系我们讨论您的应用的具体长度要求。