自1994年以来，“新型”气浮轴承一直是多孔介质™气浮轴承技术的市场领导者。
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ISARA400 (ISARA) 被认为是世界上最精确的三坐标测量机 (CMM) 之一。IBS Precision Engineering (IBS)是世界级测量、定位和运动系统的领导者，开发了ISARA400以满足对大型零件的超高精度 3D 测量日益增长的需求。
New Way Air Bearings®和 IBS 已经合作了 20 多年，IBS 是 New Way 产品在欧洲的主要经销商。他们对 New Way 卓越的 Porous Media Technology™ 的信念体现在他们在 ISARA中使用圆形平板气浮轴承。
自 90 年代初以来，IBS 一直服务于半导体、印刷和光学等超高精度行业。IBS 的创始人 Henny Spaan 认识到，只有制造商能够进行可靠、精确的测量，才能充分发挥精密工业的潜力。Spaan 的梦想是打造完美的 CMM。
IBS 的首席创新者 Theresa Spaan-Burke说，答案就是 ISARA，这是一个“可以真正进行 3D 测量的极其精确的测量系统” 。为了达到所需的精度，ISARA 建立在阿贝原理的基础上，这是以前从未做过的。
通过这种差异化设计特征，ISARA 通过将测量系统与测量位移的轴同轴放置，从而消除视差误差。ISARA 在所有三个轴上都实现了这一点，在整个测量体积（令人印象深刻的 400 x 400 x 100 mm）上将不确定性降至 50nm。
结果是一台多探针 计量机器能够以 1.6 nm的3D分辨率测量复杂和自由形状的表面。
New Way 的扁平圆形气浮轴承用于 ISARA 的导向面，包括浮动工作台。多孔碳介质可形成均匀的气垫，提供平滑且无摩擦的 Motion™ ，非常适合执行 3D 扫描测量。
“气浮轴承对我们来说有很多优势，可以达到 ISARA 给我们的精度，”Spaan-Burke 说。New Way 气浮轴承不仅具有“令人难以置信的精度”，而且还提到了它们的可重复性和运动精度。此外，气浮轴承不会给系统增加热量，这是影响精确重复性的最大因素之一。
IBS 从不追求精度，正在开发下一个级别的 ISARA，它计划以更严格的精度测量更大的零件。他们实现这一壮举的方法之一是使用更多的 New Way 扁平圆形气浮轴承。
作为 IBS 的创新总监，Spaan-Burke 站在精密行业需求的前线，并将其映射到 IBS 的产品。她知道 New Way 的完整产品线为 IBS 提供了多种解决严格精密应用的选择。
“在半导体领域，我们看到对精度的追求从未停止，”Spaan-Burke 说。她提到了对设计的持续压力、对精度的要求，以及机器各个层面的复杂性。IBS 和 New Way 之间的长期合作关系让她相信 IBS 可以提供解决方案来保证超精密测量。
“我们在气浮轴承方面拥有丰富的知识，我们能够通过 New Way 及其性能将其带到桌面上。我们知道我们可以依靠它们在这些机器上的性能，”Spaan-Burke 评论道。
特别是，Spaan-Burke 看到了印刷和柔性电子产品的激增，推动了对卷对卷加工的严格要求。New Way Air Turns™正在为 IBS 提供针对这个不断增长的市场的解决方案。
此外，IBS 正在使用 New Way Air Bars 为超精密打印和检测应用提供必要的稳定技术。New Way气浮棒与干涉仪在线集成。气浮棒创建气浮表，以高达 4 m/min 的速度提供微米级的第一级稳定性，使干涉仪能够测量低至 100 nm 的特征。
这些只是 IBS 利用气浮轴承解决客户最严苛的精密应用的一些方法。
“他们正在参与下一代最重要的设计，”Spaan-Burke 说。
“从ISARA400到无数其他应用，New Way 与 IBS 建立了 20 多年的牢固合作关系。我们期待继续共同解决世界上最复杂的精度问题，”New Way 技术销售总监 Rich Hesse 说。
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