半导体市场

  • 半导体市场

    半导体行业对精密、清洁和速度都有严格的要求,气浮轴承的无摩擦运动并且不需要润滑的特点是非常适合这种环境的。其他的优点包括:亚纳米级的可重复性,高速度,高刚度,直线运动,零磨损,无振动和降低噪音。它们提供了基础技术在许多半导体应用,包括:晶圆检查,晶圆探测,晶圆修复,离子注入。

    • 应用

    • 直线运动

      NEW WAY气浮轴承经常被用于精密直线运动以及精密定位的半导体行业中。

    • 旋转运动

      NEW WAY的弧面气浮轴承和轴套产品可以通过组合应用在精密旋转运动以及精密定位解决方案的半导体行业中。

    • 运输

      NEW WAY提供一个完整的产品线,可以用于无接触式处理外径半导体晶圆,以及定位应用程序的处理和检测。