如果您需要在检查过程中进行精确控制,请使用 New Way® 气浮轴承。我们的 Precision Zone 气浮条系列将我们的Porous Media Technology™与更紧密的真空压力孔阵列相结合。这允许 25 微米的浮空高度和 5 微米的控制范围。我们的 Precision Zone 系列增加的刚度稳定在 1 纳米。这些气浮条在整个表面上具有一致的平整度,非常适合在运输过程中检查小区域。
我们的气浮条由柔软的碳基材制成,天然多孔,不会刮伤精致的材料。通过条的气流由数百万个亚微米孔调节,以在气浮条和您的材料之间形成稳定而坚硬的气垫。由于压力梯度已基本消除,因此生产永远不会因碰撞而中断。我们气浮条的非接触特性意味着您永远不必担心您的材料会被传送带损坏。
我们的气浮条最常用于平板显示器和太阳能电池板的制造过程。Precision Zone 气浮条也可用于检查半导体晶圆或其他需要对不一致进行高级分析的特定区域。
Precision Zone 气浮条可以轻松地与我们的其他气浮条组合,以在材料的所需区域提供卓越的平整度和稳定性。当材料在气浮条上下移动时,真空压力也减少了浮动。
气浮条中多孔介质的独特用途使其成为洁净室使用的理想选择。与基于孔板的气浮轴承相比,不仅气浮条中使用的空气更少,而且空气通过多孔介质均匀分布。这两个功能都最大限度地减少了洁净室中电流或涡流的可能性及其对生产的破坏性影响。
使用多孔介质的另一个好处是它能够作为排放空气的亚微米过滤器。测试表明轴承满足 1 级(ISO 3 级)清洁度的要求,空气中的颗粒浓缩物限制小于 1,000 x 0.1μm 颗粒/m3。
想了解更多关于我们的 Precision Zone 气浮条如何集成到您的制造过程中?今天就告诉我们更多关于您的申请的信息吧!
尺寸 | 部分 # | 输入压力 | 气膜刚度 | 长度 | 宽度 | 高度 | 重量 | |
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250mm | S2225401 | 20 磅/平方英寸 | 1.31 磅/微英寸 | 9.84 英寸 | 3.0 英寸 | 1.97 英寸 | 3.08 磅/英寸 |